磁控溅射法制备纳米级ZnS薄膜及其性能研究

摘要：

用磁控溅射技术在玻璃衬底上获得了取向单一的纳米级ZnS薄膜. 研究了衬底温度对薄膜结构的影响. 得出400 ℃时沉积的薄膜结晶最好,为六方纤锌矿结构,在可见光范围内有较高的透过率,其光能隙为3.81 eV.

关键词：ZnS、纳米级薄膜

所属期刊栏目：45

分类号：O484(固体物理学)

资助基金：国家自然科学基金60506004;国家高技术研究与发展计划2003 AA513010

在线出版日期：2008-08-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：619-622