PEM老炼过程中的温度闭环控制系统

摘要：

当前,老炼仍被广泛应用于塑封微电路(PEM)的可靠性保证.为了解决老炼过程中存在的热失控及温度不一致的问题,该文设计了一套温度闭环控制系统.在由老炼箱自身装置提供箱内基础温度的基础上,设计的温度闭环控制系统以每个封装夹具内的微环境为控制对象,采用模糊自适应算法,最优配置比例积分(PI)控制器的控制参数,最终驱动执行器,对被老炼器件及时加热或散热.通过试验证实,老炼过程中加入温度闭环控制系统后,被测器件的温度在更短的时间内(20 min)达到稳态,稳态精度控制在1℃以内,且被测器件温度的差异由2℃降低到基本一致.而后,当系统采用模糊自适应控制算法后,系统的动态响应时间更短,抗干扰能力更强.因此,该系统达到了防止器件热失控及保证不同器件间温度一致的目的.

关键词：塑封微电路、老炼、可靠性、温度闭环控制

所属期刊栏目：56

分类号：TN406(微电子学、集成电路（IC）)

资助基金：国家自然科学基金;清华大学自主科研计划

在线出版日期：2017-05-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：294-298