微型二维扫描镜的原理性实验研究

摘要：

为满足激光扫描装置微型化的要求,设计了一种微型二维扫描镜,能够通过反射激光束实现二维扫描.对这种结构建立了理论模型,分析了2个方向上的扫描频率和最大扫描角;对微型二维扫描镜原理样机进行了实验研究.结果表明:2个一维扫描频率分别为170.1Hz和378.8Hz;同时施加这2种谐振频率的激励时,可实现该扫描镜的二维大角度偏转;2个方向上的最大扫描角随激励位移的增加而变大;在10 μm驱动位移的激励下,该微型二维扫描镜可达到大于30°×20°的扫描范围.

关键词：二维扫描镜、微型化、扫描频率、扫描范围

所属期刊栏目：48

分类号：TN603(电子元件、组件)

在线出版日期：2009-02-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：1919-1922