二极管电容检测用于微加速度计的误差分析

摘要：

方波激励下的环形二极管电容检测电路应用于微机械加速度计是一种新的尝试.根据实践,该方案可以很好地在闭环系统中工作.该文建立了这种解调电路的数学模型,进行了误差分析,给出了其参数对闭环系统的影响.该方案在将检测电容变化转换为电压变化的过程中会引入非线性因素,该文证明了这种影响在闭环后可以忽略.计算结果表明,较解调电容的变化,敏感结构电容的变化将对输出电压的变化起主要的影响作用.此外,推导出的静电力公式说明,较大的激励电压会减小系统的稳定裕量.

关键词：微机械加速度计、环形二极管、电容检测、误差分析

所属期刊栏目：48

分类号：TH824

资助基金：国家"十一五"预研项目51308050208

在线出版日期：2009-02-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：1908-1910