以SiHCl3为工作介质生产高丰度28Si

摘要：

为了获得高丰度的 28Si 同位素,生产高纯度的单晶硅,利用气体离心机对硅同位素进行离心分离.通过对SiHCl3中组成元素的不同同位素丰度的分析,计算了天然SiHCl3中不同相对分子质量的分子组成.分析结果表明: 虽然氯有两种同位素,但也可以将SiHCl3作为分离 28Si 同位素的工作介质.通过4台离心级联的分离实验,得到了 28Si 丰度达到99%的SiHCl3样品.离心分离得到的高丰度SiHCl3不用经过化学转化就可以直接用于单晶硅的生产.实验结果表明,采用离心法分离SiHCl3可以得到高丰度 28Si.

关键词：SiHCl3、离心分离、硅同位素

所属期刊栏目：45

分类号：TL25(核燃料及其生产)

资助基金：科技部专项基金95219

在线出版日期：2006-03-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：1640-1642