单个厚电极超声换能器振子的频率方程

摘要：

旋转超声加工是加工硬脆材料的一种较好方法.为实现长时间连续稳定工作,必须使用厚电极的超声换能器振子.目前,对厚电极换能器振子的研究较少,使用时一般使用近似计算与实验调整相结合的方法.为了较精确地设计厚电极超声换能器振子,类比薄电极换能器振子的研究方法,推导了单个厚电极节面在能器振子中间时的频率方程,并使用模态实验分析和有限元仿真相结合的方法进行了验证,结果表明: 在给定的电极厚度范围内,换能器振子的谐振频率误差小于5%, 完全满足工程应用的需要.

关键词：超声换能器振子、厚电极、频率方程、超声加工

所属期刊栏目：44

分类号：TB552(声学工程)

资助基金：面向21世纪教育振兴行动计划985计划

在线出版日期：2004-04-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：163-165