基于体硅工艺的微夹持器设计

摘要：

为克服静电致动微夹持器夹持力小、运动范围小的弱点,设计并研制了一种基于体硅工艺的微夹持器.建立了S形柔性夹持臂力学模型,借助有限元方法进行结构优化、夹持臂模态分析以及静电驱动器对微操作对象影响的估算.研制成一种大深宽比梳状静电驱动微夹持器,释放了等效长度达5.470 mm的柔性夹持臂.该夹持器采用了导电型并接地连接的柔性微夹持臂,可防止静电对操作的影响,柔性结构有效解决了静电力小与硅材料的弹性模量高之间的矛盾,使微夹持器的夹持力输出大大增加.

关键词：微夹持器、有限元方法、体硅工艺

所属期刊栏目：43

分类号：TP241;TB115(自动化技术及设备)

资助基金：清华大学校科研和教改项目

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：655-658