基于光对准的多传感器轴装配误差补偿技术

摘要：

含有多传感器的微机电系统在组装传感器时,一般存在着轴对准问题,轴的非对准误差能导致很大的系统测量误差.为此提出一种基于光对准的误差补偿方法,可以在不需要高精度轴对准的前提下,对装配后的组件进行后续误差检测和实时补偿,有效地消除装配误差对测量精度的影响.将该方法实施于微机电方位水平仪,用以测量姿态,通过仿真结果证实了方法的有效性.

关键词：微机电系统、多传感器、轴装配误差、光对准、误差补偿

所属期刊栏目：42

分类号：V447(航天仪表、航天器设备、航天器制导与控制)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：1463-1465