双膜片石英谐振式力传感器设计及其性能研究

摘要：

将石英谐振器分别假设为正交各向异性体和各向同性体，利用有限元法对其进行失稳时临界力的计算和分析，得出了传感器结构稳定性与谐振器厚度及支撑条件的关系。在此基础上，对传感器结构进行了改进，并对单、双膜片结构传感器的各种性能进行了实验研究，得出如下结论： 传感器由单膜片结构改制成双膜片结构后，其非线性误差、滞后误差、重复性误差和蠕变误差普遍降低，滞后和重复性指标的提高尤为显著； 另外，双膜片结构传感器的抗偏载及横向冲击能力大大增强，可靠性明显提高。

关键词：石英力传感器、临界力、稳定性、性能

所属期刊栏目：41

分类号：TH703;TP212(仪器、仪表)

资助基金：国家科技攻关项目96-748-01-04

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：107-110