基于环境影响评价浅谈集成电路建设项目污染控制

摘要：

结合上海市某集成电路制造企业生产项目环境影响评价,从生产工艺流程、产污节点以及产生的"三废"出发,总结了集成电路生产项目的主要污染问题及采取的污染控制措施,为实现集成电路生产项目污染物达标排放提供参考.

关键词：集成电路、生产工艺、污染控制、环境影响评价

所属期刊栏目：4

分类号：TS5(皮革工业)

在线出版日期：2023-08-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：35-37