浅析半导体硅片行业废水处理工程

摘要：

近年来国内半导体产业发展态势良好,硅片生产规模不断扩大,但随之出现的就是废水排放及处理问题.文中以300 mm硅片生产废水处理工程为例,根据工程概况,阐述含氟废水、CMP废水、含铜废水的处理工艺,并以此为基础提出改进建议.

关键词：300 mm硅片、半导体厂、废水处理、酸碱废水

分类号：TS5(皮革工业)

在线出版日期：2023-03-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：25-27