电子行业用化学过滤器性能评价方法研究

摘要：

化学过滤器的性能参数是用户在使用过程中对化学过滤器进行维护时的重要参考指标,然而实际使用时场景复杂,导致用户无法使用化学过滤器出厂时的性能参数来评估其实际使用情况.本文从化学过滤器的实际使用场景出发,总结了化学过滤器在实际使用中所遇到的问题;结合现有化学过滤器评价的相关规范和相关研究,给出了未来发展方向的建议.

关键词：化学过滤器、气态分子污染物、评价方法、竞争吸附、污染物浓度

所属期刊栏目：53

分类号：F426.63;U461.7;TP301.6

资助基金：北京市重点实验室开放基金课题BZ0344KF20-04

在线出版日期：2023-05-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共11页

页码：167-177