某硅晶片生产厂房净化空调设计

摘要：

结合实例,介绍了洁净室净化空调系统设计原则、气流组织形式、空气处理过程,并讨论了其空调系统的自控问题.

关键词：垂直单向流洁净室、风机过滤单元、变频、自控、干式冷盘管

所属期刊栏目：40

分类号：TN3;TG1

在线出版日期：2010-06-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：22-25