超高级别微电子洁净厂房的测试

摘要：

指出超高级别微电子洁净厂房环境参数对产品质量至关重要.介绍了与超高级别微电子洁净厂房有关的分级标准,并对某0.1μm 1级洁净厂房作了实际测试,给出测试项目、测试方法和使用的主要测试仪器.

关键词：洁净室、微电子厂房、测试

所属期刊栏目：33

分类号：TU83(房屋建筑设备)

在线出版日期：2003-09-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：97-98