超精密运动定位系统研究

摘要：

随着科学技术的发展和工业需求的不断提高,人类的制造方式已经发生了巨大的改变,突出的特点就是制造精度不断提高,已经由微米级向纳米级进行转变.超精密加工技术在各个高科技领域发挥了重要的作用,同时在未来相当长时间内制约着最前沿科技的发展水平,而其中的基础就是高精度运动定位系统,高精度和高分辨率的运动定位系统在近代尖端工业生产和科学研究领域内占有及其重要的地位.鉴于超精密运动定位系统的重要地位和广阔的发展前景,系统总结目前超精密运动定位系统的结构组成和发展趋势变得尤为重要.

关键词：精密运动、传感器、纳米定位

在线出版日期：2018-06-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：224-225