喷涂热分解法制备掺锑SnO2电热膜的工艺及电学性能的研究

摘要：

本文研究了热喷涂分解法制备Sb:SnO2电热膜的工艺及基体对电热膜电学性能的影响,并讨论了该膜的电阻温度系数的变化.实验表明:喷涂工艺对掺Sb的SnO2电热膜的电学性能有很大影响.

关键词：电热膜、简并半导体、电阻温度系数

所属期刊栏目：23

分类号：TB34(工程材料学)

资助基金：内蒙古工业大学校科研和教改项目

在线出版日期：2005-03-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：205-208