农药浓度光波导传感制备工艺研究

摘要：

研究了农药浓度的光波导传感制备工艺,采用磁控溅射技术,在石英基板上制备康宁1737玻璃波导的工艺;同时,分析了成膜条件以及控制膜厚的因素.实验结果表明,溅射功率和靶基距是影响溅射沉积速率的关键因素, 采用射频功率为100～200W、靶基距为4～6cm,衬底温度为20～25℃、真空度为0.38Pa、溅射时间为2～4h的工艺条件可以获得较快的沉积速率并形成良好的单膜波导,可为农药浓度的检测提供一种新的方法.

关键词：有机磷农药、导波光学、光波导技术、磁控溅射、均匀折射率波导

所属期刊栏目：32

分类号：TP211+.6(自动化技术及设备)

资助基金：上海市科委科研计划支撑项目08440510300

在线出版日期：2010-10-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：58-60,64