环模设备用自屏蔽低温泵的研制与性能测试

摘要：

设计了一种用于大型环模设备的DN1250自屏蔽制冷机低温泵,低温泵采用4个小型制冷机作为冷源,避免了液氮的使用.详细介绍该低温泵的工作原理、主要结构、设计方法,以及基于流量法的低温泵性能测试方法.测试结果表明,该系列低温泵对氮气的抽速达到57 000 L/s、降温时间小于300 min、渡越容量达到3.0×105 Pa·L.低温泵目前已经应用在新卫星平台大型高真空检漏系统中,低温泵的各项指标均完全满足要求.

关键词：低温泵、抽速、降温时间、渡越容量

所属期刊栏目：15

分类号：TB752+.53(真空技术)

资助基金：国家自然科学基金项目51575018

在线出版日期：2018-03-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：32-35