一种新型多官能度乙烯基醚树脂的制备及在光刻负胶中的应用

摘要：

以苯乙烯,2-异氰酸甲基丙烯酸酯(IEMA),以及乙二醇单乙烯基醚(EGME)等为原料,分两步合成了一种主链为聚苯乙烯结构的多乙烯基醚(VEs)树脂(PSIM-VE).通过测定该树脂的红外光谱、核磁氢谱及核磁碳谱,确定了其分子结构式.测定了该树脂的紫外透光性,并且研究了基于该树脂的紫外光刻负胶以甲苯及四氧呋喃为溶剂时的成膜性及紫外光固化性能.通过接触式光刻工艺,在光刻胶膜层上得到了4μm周期的光栅结构.

关键词：乙烯基醚、自由基共聚合、紫外光同化、光刻负胶

所属期刊栏目：46

分类号：TN305.7(半导体技术)

资助基金：国家自然科学基金50673040

在线出版日期：2010-04-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：34-40