矩形AT切石英谐振器寄生振动模式的有限元分析

摘要：

随着实际应用中的谐振器向小型化与高频发展,AT切石英晶体谐振器中寄生振动模式增多,寄生振动模式与主模式厚度切变模式之间的耦合问题越来越突出.因此有必要对与晶片X和Z'尺寸均有关的寄生模式进行理论分析.以Mindlin的二维晶片方程为基础,运用有限元法求解AT切石英晶体谐振器的振动模式,得到了晶片频率随X长度变化的频谱图.其结果与Koga的实验结果比较,符合得比较好.与通常用解析解的方法分析的结果相比较,有限元法的优越性在于可得到更多的非直行波模式(非晶片长、宽方向),还可以模拟出各模式的主要位移分量的波形图,对抑制寄生模的大小及减少寄生模与主模的耦合提供了更详细的分析资料.

关键词：谐振器、振动模式、有限元

所属期刊栏目：38

分类号：TB559(声学工程)

在线出版日期：2008-05-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：234-240