Si3N4添加量对熔融石英坩埚在铸锭过程中析晶的影响

摘要：

为了研究Si3N4添加量对熔融石英坩埚在铸锭过程中结晶化的影响,首先在熔融石英浆料中添加不同量(质量分数为0、0.01％、0.05％和0.1％)的氮化硅粉,经注浆成型、140℃保温10 h干燥和1 150℃保温6h烧后制备了熔融石英坩埚,然后在铸锭炉中进行最高温度为1 540℃,历时约52 h的多晶硅铸锭过程,最后用透射反射偏光显微镜观察铸锭后坩埚的显微结构,用X射线衍射仪分析铸锭后坩埚的物相组成,并计算其结晶度和晶粒尺寸.结果表明:随着Si3N4添加量的增加,铸锭后熔融石英坩埚中结晶相α-方石英的含量逐渐降低,晶粒尺寸逐渐减小.

关键词：熔融石英坩埚、氮化硅、结晶度、α-方石英

所属期刊栏目：50

分类号：TQ175.1

在线出版日期：2016-10-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：248-251