直流磁控溅射有机衬底和玻璃衬底ZnO:Al薄膜结构特性

摘要：

利用直流磁控溅射法在有机薄膜衬底和普通玻璃衬底上制备出了具有良好附着性的ZnO:Al薄膜,并分析了氧分压、溅射压强、沉积时间、温度对薄膜结构特性的影响.研究发现,铝掺杂的氧化锌薄膜是多晶膜,具有六角纤锌矿结构,ZnO:Al薄膜具有(002)择优取向.在同样的制备条件下,薄膜的晶化在普通玻璃上比在PET衬底上要好,但是在特定的条件下(沉积时间15min),在PET衬底上的要比普通玻璃衬底上的好.

关键词：有机衬底、ZnO:Al、晶化

所属期刊栏目：26

分类号：TM914.4

在线出版日期：2008-10-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：64-68,72