矿用压力传感器敏感元件温度漂移补偿技术

摘要：

压力传感器敏感元件温度漂移是矿用压力传感器漂移的主要原因,文章列举了几种多晶硅压力传感器的温度漂移补偿方法,并分别讨论了它们的原理及特点,指出了更适合矿用压力传感器敏感元件的温度补偿方法.

关键词：压力传感器、敏感元件、温度补偿

所属期刊栏目：39

分类号：TD605(矿山电工)

在线出版日期：2008-05-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：66-68