塑封模CAD系统中的温度补偿

摘要：

塑封模是集成电路生产中不可缺少的工艺装备,塑封模设计过程中温度补偿直接关系到塑封模具制造的成败,也是塑封模CAD系统必须要考虑的因素.在推导出塑封模温度补偿系数计算公式的基础上,开发出塑封模CAD系统中温度补偿程序,并且介绍了程序的使用方法.

关键词：塑封模具、集成电路、温度补偿、CAD

分类号：TP391.72(计算技术、计算机技术)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：50-52,58