利用 AFM 机械刻蚀技术在OTS自组装单分子膜表面制备纳米图案及其力学性能研究

摘要：

在羟基化Si(111)表面制备十八烷基三氯硅烷(OTS)自组装单分子膜,利用AFM机械刻蚀技术,通过自编程序设计针尖走向,以金刚石针尖作为加工工具,在OTS自组装单分子膜的Si(111)表面刻蚀不同结构的纳米图案,通过预设针尖移动距离和扫描头Z向位移等参数控制纳米结构的大小和深度.结果表明:利用原子力显微镜(AFM)机械刻蚀技术在OTS自组装单分子膜的Si(111)表面加工出大小、深度可控的纳米图案,其中载荷与加工深度基本呈线性关系;所获得的纳米图案结构清晰,刻蚀试验的重复性较好;经过刻蚀后的图案化区域为裸露的SiO2/Si表面,与OTS覆盖区域相比其摩擦力和粘附力较大,其表面性质具有明显的可分辨性.

关键词：原子力显微镜(AFM)、十八烷基三氯硅烷(OTS)、纳米加工、摩擦力、力分布成像

所属期刊栏目：28

分类号：TH117.2

资助基金：国家自然科学基金20473106;国家重点基础研究发展计划973计划2007CB607605

在线出版日期：2008-04-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：6-10