纳/微米弹流油膜厚度测量系统

摘要：

介绍了1种基于多光束干涉强度的弹流油膜厚度测量系统,包括其测量原理和测量系统的设计与组成.针对光弹流接触副,给出了简单易行的干涉级次判定方法.结果表明,该测量系统具有纳米量级的分辨率,可实现由纳米膜厚到微米膜厚的连续测量,适用于超薄弹流油膜厚度和微米级弹流油膜局部微小变化的研究.测量结果与已有的理论和研究结果吻合,证明了测量系统的可靠性.

关键词：多光束干涉测量(MBI)、弹性流体动力润滑(EHL)、干涉级次

所属期刊栏目：26

分类号：TH117.2

资助基金：中国科学院资助项目50475165;教育部科学技术研究项目Y2004F19;山东省青岛市科技发展基金04-2-JZ-112

在线出版日期：2006-05-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：150-154