微机电系统磨损特性研究进展

摘要：

对微机电系统,尤其是微旋转机械的磨损研究现状进行评述,介绍MEMS及微旋转机械中的各种磨损问题,分析材料和不同工况(表面粗糙度、环境以及载荷)等条件对MEMS及微旋转机械磨损性能的影响,介绍不同形式的磨损模型、分析方法与检测仪器,并对相关领域的研究进展进行展望.

关键词：微机电系统(MEMS)、磨损性能、表面改性

所属期刊栏目：25

分类号：TP202;TH117.2(自动化技术及设备)

资助基金：国家自然科学基金10325209

在线出版日期：2005-11-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：489-494