摩擦偶件材料对非晶含氢碳薄膜摩擦学性能的影响

摘要：

利用等离子体增强化学气相沉积技术在单晶硅基底上制备了非晶含氢碳薄膜;采用Raman光谱仪、红外光谱仪和原子力显微镜等研究了碳膜的微观结构和表面形貌;采用UMT-2MT型摩擦磨损试验机考察了摩擦偶件材料对碳膜摩擦学性能的影响,并探讨了其磨损机制.结果表明:所制备的非晶含氢碳膜均匀、致密,硬度较高;当碳膜同高硬度陶瓷材料配副时,其摩擦系数低而稳定,薄膜呈现轻微擦伤和剥落磨损特征;当碳膜同低硬度的金属材料配副时,其摩擦系数高且不稳定,薄膜呈现严重粘着和磨粒磨损特征.薄膜的摩擦磨损行为同薄膜和摩擦偶件之间的相互转移有关.

关键词：非晶含氢碳膜、等离子体增强化学气相沉积、摩擦偶件材料、摩擦学性能

所属期刊栏目：24

分类号：TG174.44;TH117.3(金属学与热处理)

资助基金：国家自然科学基金59925513,50323007;国家高技术研究发展计划863计划2003AA305670;中国科学院"百人计划"

在线出版日期：2005-01-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：483-487