多晶硅生产中公用工程系统发生供应故障的原因分析及处置方法

摘要：

公用工程系统指水、电、气、汽系统,是多晶硅生产正常运行的基本条件.公用工程系统是否平稳正常供应,直接关系到各工序能否稳定运行以及最终能否产出合格产品.文章针对多晶硅生产时,可能发生的公用工程系统供应故障进行分析及探讨,并提出了处置方法.

关键词：多晶硅、公用工程系统、供应故障

所属期刊栏目：22

分类号：TQ127.2

在线出版日期：2013-06-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：44-46