大孔树脂吸附法回收三氯氢硅生产过程中的尾气

摘要：

三氯氢硅生产工艺中产生大量尾气,主要成分氢气、氯化氢、氯硅烷,如果直接排放不但污染环境,而且造成资源的浪费.用树脂吸附法对尾气进行回收并再利用,具有较大的工业应用前景.在φ10×380mm玻璃吸附柱内,用型号为A1、A2、A3的3种大孔树脂,进行了吸附和解吸性能研究.结果表明,A1树脂性能最优.最佳吸附工艺条件为:温度20℃,尾气流量5L/h,吸附时间2.8h.解吸过程的最佳工艺条件:温度110℃,氮气流量7.5L/h,时间1.5h.

关键词：大孔树脂、吸附、三氯氢硅、四氯化硅、尾气

所属期刊栏目：27

分类号：TQ09(一般性问题)

在线出版日期：2012-03-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：562-569