MEMS电容式加速度计的四拱梁悬挂设计与参数优化

摘要：

微机械结构的设计是MEMS电容式加速度计研究的重要内容.本文设计了一款四拱梁悬挂的MEMS电容式加速度计结构,建立了四拱梁悬挂结构的力学模型,对拱梁的结构参数进行了优化分析并获得了最优悬挂参数,接着利用COMSOL软件对微机械结构的自振特性进行了分析,并研究了静电对微结构自振频率的影响.研究表明,设计的四拱梁加速度计具有结构稳定、敏感方向位移灵敏度好、自振频率可调等特点,可为高性能的MEMS电容式加速度计的研制提供理论参考.

关键词：微结构、微机电系统、动力学、电容式加速度计

所属期刊栏目：44

分类号：O39(应用力学)

资助基金：国家电网有限公司总部科技项目SGZJJXI0SYJS2101112

在线出版日期：2023-01-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：1351-1356