一种负压驱动的蠕动微型泵设计

摘要：

微型泵作为集成微流体中不可或缺的元素,在过去20年间取得了很大的进展.基于真空负压驱动原理,研制了一种结构简单的蠕动式微型泵.微型泵由三层聚二甲基硅氧烷(PDMS)材料构成(气路层,流路层,驱动薄膜层),并通过表面等离子体氧化处理技术实现了PDMS层之间的键合封装,其全部结构均采用激光器加工制作而成.蠕动驱动模式的关键在于利用气路周期性地传递负压力波,进而实现弹性薄膜的顺序变形,其中负压源通过电磁阀(EMV)进行通断控制.这种结构简化了常规蠕动泵模型中的复杂逻辑控制.实验结果表明在50kPa负压和30Hz驱动频率的条件下,获得的最佳流速为170 μL/min.

关键词：微型泵、微流体、负压驱动、蠕动

所属期刊栏目：40

分类号：TH137.51;TP271

资助基金：重庆市自然科学基金项目cstc2011jjA10018

在线出版日期：2013-05-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：47-50,38