基于玻璃微熔技术的高压传感器开发

摘要：

为了提高SOI硅力敏原件和弹性敏感元件的黏合性,利用玻璃微熔技术将敏感电阻固定在敏感膜片上,研发出一款高压传感器.采用微机电系统MEMS工艺制备硅应变计,增强传感器各方面的性能.以高集成度的桥式压力传感器芯片NSA9260作为信号调理芯片,其具有三阶的非线性校准能力,校准精度较高.对高压传感器的主要指标进行检测实验,结果表明:在-40～120℃的温度区间内,压力测量范围可达50 MPa,控制精度在0.1％以内.

关键词：玻璃微熔、微机系统(MEMS)、SOI硅力敏元件

所属期刊栏目：44

分类号：TP212;TH703(自动化技术及设备)

在线出版日期：2022-10-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：27-32