DOE实验设计开发高效的光刻胶剥离液

摘要：

通过混料实验设计筛选出合适的光刻胶剥离液体系及组份含量.对剥离液体系进行持续溶解监控,借助六西格玛过程控制分析确定更优的剥离液组合物.溶胶量的测试结果证明,含溶剂二乙二醚丁醚、N-甲基吡咯烷酮、乙醇胺及添加剂200的剥离液,其溶胶量可超4.1 m2/加仑,这样就可以减少光刻胶剥离液开槽次数,提高生产效率,降低成本.

关键词：实验设计、混料试验、光刻胶、剥离液

所属期刊栏目：41

分类号：O644.14(物理化学（理论化学）、化学物理学)

在线出版日期：2019-11-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：16-21