压电定位系统的自抗扰控制设计

摘要：

纳米定位系统中广泛采用的压电驱动器因存在非线性、多映射的迟滞特性而严重影响了纳米定位系统的定位精度。为消除迟滞对定位精度的影响，将其视为干扰，设计不基于迟滞及定位系统精确数学模型的自抗扰控制算法，利用扩张状态观测器实时估计迟滞，进而补偿其对定位精度的影响，获得了良好的定位系统控制仿真效果。仿真结果表明，自抗扰控制器能够有效消除迟滞、提高纳米定位系统的定位精度。

关键词：压电驱动、迟滞、纳米定位、自抗扰、定位精度

所属期刊栏目：33

分类号：TP273(自动化技术及设备)

资助基金：国家自然科学基金项目61403006;科技创新平台项目19008001232;北京市属高等学校青年拔尖人才培育计划CIT&TCD201404029;北京市教委面上项目KM201410011005

在线出版日期：2016-12-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：1319-1326