超精密伺服系统控制与应用

摘要：

随着智能微纳器件和高性能数字系统的飞速发展,超精密伺服技术已逐步成为信息存储、精密成像、半导体装备等新兴行业的核心技术.本文从微纳操控领域的设计和控制问题着手,首先介绍了超精密伺服系统的设计及分析方法,进而阐述了超精密伺服系统对控制理论提出的诸多挑战.特别针对这类系统中广泛存在的模型不确定性及高阶未建模动态特性,非线性迟滞特性及执行机构饱和非线性,多源复杂干扰并存情况的抗干扰控制问题,以及面向复杂轨迹的高精度跟踪控制问题,给出了具有代表性的控制算法和应用实例.本文最后以高精度直写式真空蒸发系统为例,介绍了超精密伺服技术在现代精密仪器设备中的重要应用.

关键词：超精密伺服系统、微纳操控、鲁棒控制、抗干扰控制、内模控制

所属期刊栏目：31

分类号：TP273(自动化技术及设备)

资助基金：国家自然科学基金资助项目61327003,61004004;中央高校基本科研业务费资助项目10062014YWF-14-ZDHXY-018;高等学校博士学科点专项科研基金资助项目20100002120043;留学回国人员科研启动基金资助项目20121028120

在线出版日期：2014-12-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共14页

页码：1338-1351