晶圆扫描光刻系统的有效非因果学习控制

摘要：

本文提出一种有效非因果学习控制方法,用于晶圆扫描光刻系统.该方法不依赖于精确的系统建模,通过引入时间延迟因子对迭代控制系统的收敛条件进行初步整形.然后选取零相位滤波器来进行二次整形,得到收敛的非因果迭代学习控制律.根据系统的闭环特性,进一步给出延迟因子的参考设计方法和滤波器的选取原则,并对收敛性进行了分析.此外,为提高系统的扫描性能,引入有效学习函数来克服传统学习控制方法的学习盲目性,增强对关键性能指标的学习能力.最后采用模拟的晶圆扫描光刻系统来进行仿真和实验,以验证方法的有效性.

关键词：晶圆扫描光刻系统、学习控制、扫描、时间延迟、有效学习函数

所属期刊栏目：30

分类号：TP273(自动化技术及设备)

资助基金：国家自然科学基金资助项目61174037;国家科技重大专项资助项目2009ZX02207

在线出版日期：2013-11-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：1258-1264