一种谐振式加速度计的稳定性分析方法

摘要：

谐振式加速度计的振动稳定性,是加速度计的重要性能指标之一,对测量精度和可靠性有重要影响.本文以谐振式加速度计敏感结构的振动稳定性为研究对象,研究其结构参数对谐振梁振动稳定性的影响.首先分析谐振式加速度的敏感机理,构建谐振梁动力学数学模型;利用小参数摄动法求解谐振梁动力学数学模型的一般近似解,为谐振梁的振动稳定性提供理论基础;针对2种典型轴向力,求得谐振梁动力学模型稳定性区间的过渡曲线,定量分析谐振梁振动稳定性与加速度计结构参数之间的对应关系;依据稳定性分析结论对设计的加速度计进行1g静态翻滚验证实验.研究结果表明,稳定性分析为优化设计加速度计结构参数提供有效的理论依据.

关键词：谐振式加速度计、稳定性分析、谐振梁、稳定性区间

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分类号：TH-73

资助基金：国家自然科学基金61973308

在线出版日期：2020-04-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：203-208