飞秒激光改性区选择性化学腐蚀加工光纤微纳结构传感器

摘要：

光纤微纳结构传感器具有体积小、质量轻、抗电磁干扰和灵敏度高等优点,已成为各领域不可或缺的传感器件.本文简要介绍了飞秒激光改性区选择性化学腐蚀加工光纤微纳结构的方法,并根据传感器工作原理,将所得传感器件分为干涉型、衍射型和复合型3种.重点阐述了各类型器件的结构和性能,并对运用该方法制作的光纤微纳结构进行总结和展望.

关键词：飞秒激光、化学腐蚀、光纤微纳结构

所属期刊栏目：61

分类号：TG6;TG1

资助基金：国家自然科学基金91123035,91323301,51475482,51335011,51475481;国家重点基础研究发展计划2011CB013000;教育部“新世纪优秀人才支持计划”NCET-12-0548

在线出版日期：2017-05-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共9页

页码：576-584