飞秒激光直写在玻璃内部制备多功能集成器件

摘要：

飞秒激光脉冲具有极高的峰值功率和极短的脉冲宽度,与物质相互作用时呈现出强烈的非线性效应,使其可以深入透明介质内部,以超越光学衍射极限的精度对材料进行三维微加工.除此之外,飞秒激光三维直写技术具有高度的灵活性,即可以在单一芯片上制备并集成多种不同功能的微纳结构.这些特性使该技术迅速发展成为微制造领域的研究热点,在微流体、微光学、光电子学以及光量子芯片制备与集成等领域表现出广阔的前景.但还有一些问题限制飞秒激光直写技术的进一步发展,比如加工通道的尺寸和长度限制、较高的加工表面粗糙度等.针对这些问题,本文重点介绍了在玻璃中制备三维微纳流体通道以及高品质光学微腔的最新进展.

关键词：飞秒激光直写、微流通道、纳流通道、微腔

所属期刊栏目：61

分类号：TN4;TP2

资助基金：国家重大科学研究计划2014CB921300;国家自然科学基金61275205

在线出版日期：2017-05-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共10页

页码：566-575