一种具有时空高分辨率的整体式热流传感器

摘要：

为在激波风洞中测量尖锐前缘等曲率半径很小处的表面热流率,俞鸿儒提出一种整体式热流传感器.与传统的热流传感器相比,整体式热流传感器空间分辨率提高了一个数量级,感应元件的最小尺寸仅为直径0.1 mm,可以测量R0.5 mm的球锥驻点热流.通过双组元电子束物理气相沉积的方法,制备康铜薄膜,形成整体式热流传感器的接点层.并利用数值计算,分析了传感器结构对测量精度的影响.激波风洞试验结果表明,本文制备的整体式热流传感器频响约100 kHz,测量重复性误差小于10％.

关键词：激波风洞、热流传感器、康铜薄膜、电子束物理、气相沉积

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在线出版日期：2014-10-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：2484-2489