等离子体源离子注入离子鞘层及鞘层扩展动力学计算方法

摘要：

综述了近年来国内外对等离子体源离子注入离子鞘层理论研究的进展情况. 介绍了研究离子鞘层扩展动力学所常用的几种计算方法并通过比较指出了其各自的优缺点及适用条件. 通过对一些计算结果的分析指出了在PSII实验中常见的样品表面离子注入不均匀等问题出现的原因及解决办法, 介绍了PSII方法用于柱状长管子内表面改性时的计算结果, 并力图展望今后PSII离子鞘层扩展动力学计算的发展趋势.

关键词：等离子体鞘层模拟、等离子体源离子注入、流体模型、粒子模拟、内表面等离子体源离子注入

所属期刊栏目：49

分类号：O4(物理学)

资助基金：国家高技术研究发展计划863计划2002A331020;国家自然科学基金50071068,10275088;北京市科委高新科技发展项目H020420160130

在线出版日期：2004-05-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共10页

页码：409-418