非平衡等离子体化学研究现状与进展

摘要：

@@ 现在人们研究的非平衡等离子体大多是在低气压(1.33 Pa ~1.33 kPa)、低质量流量条件下, 由射频(13.5 MHz)、微波(2450 MHz) 以及交、直流高电压激发的辉光放电产生的, 作为一种直接向反应体系施加能量的方法, 已在等离子体化学合成与分解、溅射制膜、气相淀积、聚合与引发聚合、材料表面改性、沉积刻蚀和低温灰化等方面应用, 取得了引人瞩目的应用效果. Maezono等人[1]在压力为0.08 kPa, Ar作为活化剂的条件下, 研究利用直流火焰状电晕放电, 将CO2浓度由10%降至8%. Zhang等人[2]应用辉光放电方法, 在850℃以及Ni/?-Al2O3催化剂作用下, 合成CH4的转化率达到98.2%.

机标关键词：平衡等离子体、辉光放电、应用效果、材料表面改性、直流高电压、能量的方法、低质量流量、引发聚合、气相淀积、化学合成、反应体系、电晕放电、转化率、活化剂、低气压、催化剂、制膜、压力、微波、射频

所属期刊栏目：47

分类号：O64(物理化学（理论化学）、化学物理学)

资助基金：国家自然科学基金60031001;国家自然科学基金69871002

在线出版日期：2004-03-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：321-322