硅片倒角工艺研究

摘要：

分析了硅片倒角工艺各参数对倒角轮廓表面粗糙度的影响，从而为加工出高质量的倒角轮廓制定合理的倒角工艺参数提供参考。

关键词：硅片倒角、倒角机磨轮、磨削、倒角轮廓、粗糙度

分类号：TN3(半导体技术)

在线出版日期：2012-06-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：49-50