基于光纤F-P腔的湿度传感器研究

摘要：

在理论和实验的基础上分析了光纤F-P腔湿度传感器的湿度敏感特性,使用了低精细度的光纤F-P腔分析理论,即只考率在两个反射面上反射功率最强的一次反射光.以陶瓷插芯固定光纤端面,并在此基础上制备高反射率银膜和多孔硅膜构成F-P结构,得到了在低于85%的相对湿度环境下,每0.6nm的波长漂移对应于10%的相对湿度变化,与传统湿度计5%的测量精度相比有了很大的提高,并且实验证明其具有较好的重复性和线性度.因此认为这种结构的湿度传感器具有很好的湿度传感性能.

关键词：低精细度光纤F-P腔、多孔硅、湿度传感器

分类号：TN29(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家自然科学基金60908020

在线出版日期：2010-06-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：91-92