多晶硅还原中三氯氢硅几种汽化方式的比较

摘要：

多晶硅生产方法目前应用最广的为改良西门子法.三氯氢硅作为多晶硅还原的重要原料之一,其汽化方式以及与氢气摩尔比值直接关系产品的质量和产量.本文就目前多晶硅还愿中三氯氢硅的三种汽化方式进行介绍,并对其优缺点进行比较,为多晶硅生产工厂和多晶硅工艺设计提供参考.

关键词：多晶硅、还原、三氯氢硅、汽化方式、摩尔比值

分类号：TQ127.2;TQ251.1;G206

在线出版日期：2009-08-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：89-90