气体流量对石英增强型光声光谱检测精度的影响

摘要：

石英增强型光声光谱(quartz enhanced photoacoustic spectroscopy,QEPAS)检测技术在痕量气体浓度检测方面具有灵敏度高、可靠性好、系统体积小等优势.以二氧化碳为目标气体,深入研究不同气体流量对QEPAS检测系统精度的影响.通过Fluent ANSYS仿真软件对气体流场进行分析,完成对不同流量情况下气室内压强和流速的仿真.通过基于QEPAS的CO2气体检测系统的实验,研究了气室压强对气体浓度检测的影响.实验结果表明通过控制气体流量使得气室内的压强为1.08×10-1～1.48×10-1 Pa时,检测信号与气体浓度之间线性关系良好,相关系数R=0.999 71,系统相对误差为0.5％,系统检测下限为72×10-6 mL/m3.

关键词：石英增强型光声光谱(QEPAS)、痕量气体检测、二氧化碳检测:Fluent

所属期刊栏目：22

分类号：TN247(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家重点研发计划2020YFC2200803

在线出版日期：2022-04-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：1048-1053