粘附和根切对模态局部化加速度计的影响

摘要：

为研究基于单面刻蚀的微机电系统制造工艺对模态局部化加速度计的影响,通过分析释放和刻蚀工艺对模态局部化加速度计结构的影响以及对加速度计幅频特性和初始工作点的影响研究了粘附和根切对模态局部化加速度计的影响.结果表明:释放氧化层时由于液体张力的存在极易使得器件层与基底层发生粘附,导致器件失效;根切会导致谐振器之间的质量差异,从而导致加速度计初始幅值比较大的漂移,增加了信号检测的难度.可见基于单面刻蚀的微机电系统制造工艺会增加模态局部化加速度计传感器的不确定性.

关键词：微机电系统;模态局部化;加速度计;根切;粘附

所属期刊栏目：21

分类号：TP212(自动化技术及设备)

资助基金：宁波市自然科学基金202003N4045

在线出版日期：2022-01-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：15108-15113