纳秒脉冲激光对钕铁硼材料表面清洗试验研究

摘要：

利用激光清洗技术对钕铁硼材料进行清洗试验,探究不同激光功率对钕铁硼材料清洗效果的影响.通过扫描电子显微镜(scanning etectron microscope,SEM)和X射线能谱仪(energy dispersive spectroscopy,EDS)分析清洗后钕铁硼材料表面形貌及元素组成成分;利用白光干涉仪检测清洗后钕铁硼材料表面的粗糙度.结果表明,清洗后钕铁硼材料的表面粗糙度随着激光功率的增大先增大后减小随后又增大;激光功率较小时,钕铁硼材料表面存在烧蚀划痕和残留的腐蚀坑,表面C、O元素不能有效去除,清洗效果不佳;在激光功率为12 W,清洗后的材料表面光洁平整,无C、O元素,表面晶相组织完整清晰无破坏,说明此时激光清洗效果最佳;当激光功率更大时,超过材料的损伤阈值,表面出现微裂纹和细小的孔洞,说明清洗效果变差.

关键词：激光技术、激光清洗、钕铁硼材料、表面形貌、表面粗糙度

所属期刊栏目：20

分类号：TN249(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家自然科学基金;山西省自然科学基金

在线出版日期：2020-06-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：5650-5655