高精度直线切换式调焦机构的设计与试验研究

摘要：

调焦机构是显微成像系统的重要组成.目前显微成像设备主要使用转盘式物镜切换机构和升降载物台来进行调焦,其不利于仪器的小型化,且价格昂贵.为此提出一种新的采用丝杆电机驱动与直线导轨相配合的兼具切换与调焦的机构,主要由混合式丝杆步进电机、高精度导轨、编码器、光电开关等组成.具体给出了机构的组成、调焦方法,并进行了模态分析、单步精度测试、垂直度测试.结果表明:步进分辨率<1μm,垂直度<10″.在能达到同类产品性能的同时,降低了成本.

关键词：应用光学、调焦、HB丝杆电机、高精度导轨、编码器

所属期刊栏目：20

分类号：TH742(仪器、仪表)

资助基金：江苏省博士后科研资助计划2018K021C

在线出版日期：2020-06-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：4713-4717